德龙激光请求根据双空间光调制器的激光切开设备及其办法专利专利技能能进行像差校对操控空间光调制器所加载的相位图生成多个轴向焦点

  专利摘要显现，本发明触及根据双空间光调制器的激光切开设备及其办法，激光器的输出光路上顺次设有扩束镜、功率衰减模组以及用于加载多焦点相位图的空间光调制器一和用于加载像差校对相位图的空间光调制器二，空间光调制器一与空间光调制器二之间的光路上顺次设有榜首凸透镜、榜首反射镜以及第二凸透镜，空间光调制器二的输出光路上顺次设有第三凸透镜、第二反射镜、第四凸透镜以及第三反射镜，第三反射镜的反射光路上设有加工物镜。激光光束经过空间光调制器进行相位调制，聚集于硅晶圆内生成多个焦点，进行像差校对，操控空间光调制器所加载的相位图，生成多个轴向焦点；空间光调制器的光斑整形技能，对隐切过程中折射率失配形成的球差现象进行纠正。